Air bearing stage
上银空气轴承定位平台
针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承定位平台。领先同业采用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术，可于千分之一秒内达到奈米误差内要求，大幅减少运动整定时间与组件磨耗率，提升设备生产力与可靠性。完整智能化远程系统侦测与全球客服支持提供，帮助客户大幅缩短设备开发时程，节省许多整合时间与成本，使其更聚焦本身关键制程Know-how。