上银平面伺服电机 LMSP
上银平面伺服电机藉由空气轴承并整合位置传感器，可于单一定子上放置多颗动子。
双轴定位平台
整合位置传感器可作闭回路控制
采用空气轴承故无磨耗
磁场不外漏，不影响周围设备
无温升问题，系统精度相对稳定
可倒吊安装